无尘室装修的施工工艺与流程主要涉及准备工作、基础施工、装修施工和验收等环节。以下是详细的步骤和注意事项：

一、准备工作

1. 设计方案：根据无尘室的使用需求和规范，制定详细的设计方案。
2. 材料准备：准备无尘室装修所需的材料，如洁净板材、高效过滤器、密封材料等。
3. 施工队伍：组建专业的无尘室装修施工队伍，并进行培训。

二、基础施工

1. 地面施工：无尘室地面需采用防静电、耐磨、易清洁的材料，如环氧树脂地坪或PVC地坪。施工前需做好地面处理，确保平整、干净、无杂物。
2. 墙面施工：墙面需使用防尘、易清洁的材料，如彩钢板或洁净板。墙面施工前需进行基层处理，确保墙面平整、垂直、无空鼓。
3. 天花板施工：天花板需使用防尘、易清洁、不易积灰的材料，如铝合金天花板。安装时需注意密封性能，防止灰尘泄漏。

三、装修施工

1. 安装高效过滤器：在无尘室的进风口和排风口处安装高效过滤器，以减少空气中的微粒和尘埃。
2. 安装照明设备：无尘室照明设备需使用防尘、防爆、易清洁的灯具，并合理布置，确保光线均匀、无阴影。
3. 安装静电设施：为防止静电对无尘室的影响，需安装静电设施，如静电地板等。
4. 其他设备安装：根据实际需要，安装其他设备，如洁净工作台、送风系统等。

四、验收流程

1. 清洁度检查：验收时需对无尘室的清洁度进行检查，确保符合无尘室的要求。
2. 设备功能检查：对无尘室内所有设备的性能进行检测，确保设备正常运行。
3. 验收报告：验收合格后，需出具详细的验收报告，记录无尘室的各项指标和设备性能。

五、注意事项

1. 无尘室施工过程中需严格控制人员和物品的出入，以减少灰尘和杂质的产生。
2. 无尘室内的装修材料需选择符合要求的环保材料，以确保室内空气质量。
3. 无尘室装修完成后需进行专业的验收工作，确保各项指标符合要求后方可投入使用。
4. 无尘室使用过程中需定期进行维护和保养，保持其良好的运行状态。

以上是无尘室装修的施工工艺与流程的简要介绍，具体操作时还需根据实际情况进行调整和完善。