精密仪器无尘车间在制造和维护过程中，需要一系列的专用设备和工具来确保产品的精度和性能。以下是一些精密仪器无尘车间常用的专用设备与工具的介绍：

一、专用设备

1. 洁净工作台：这是一种提供局部无尘环境的设备，通常用于小范围的精密操作。
2. 无尘车间：整个空间经过特殊设计，具备高效的空气过滤系统，以维持恒定、清洁的工作环境。
3. 精密研磨设备：用于对精密仪器进行研磨和抛光，确保表面光滑度和精度。
4. 光学清洗机：专门用于清洗光学元件，去除油脂、尘埃等杂质，保证光学性能。
5. 真空镀膜机：用于对精密仪器进行镀膜处理，提高其性能和耐用性。

二、专用工具

1. 静电除尘器：用于清除空气中的静电和尘埃，确保工作环境的清洁度。
2. 高精度测量工具：如千分尺、测微计等，用于对精密仪器进行精确测量。
3. 精密夹具和治具：用于固定和支撑精密仪器，确保操作过程中的稳定性和精度。
4. 清洁布和清洁剂：用于清洁精密仪器的表面和内部，去除油脂、尘埃等杂质。
5. 防静电手环和工作服：用于减少静电的产生和传播，保护精密仪器免受静电损害。

这些设备和工具的选择和应用需要根据具体的精密仪器类型、生产需求和环境要求来决定。在无尘车间中，还需要严格遵守操作规程和安全标准，以确保生产过程的安全和产品质量。